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ATV高精度空气静压转台

ATV系列高精度空气静压转台采用直驱电机和高精度圆光栅，整体高度较低，角度定位精度高，速度稳定性高，误差运动小。ATV转台作为基准可满足晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学制造和检测及MEMS/纳米器件制造等方面的严格要求。

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HTH高精度液体静压转台

HTH系列液体静压转台与传统的机械转台相比，具有精度高、摩擦系数小、良好的润滑性和减振性，无爬行现象等优点。相较于空气静压主轴，其承载能力大，刚度高，特别适合作为各种大、重型机床和精密机床的B轴。采用工字形多油腔设计，无框力矩电机直驱形式，定位精度可达到±0.2″以内。作为B轴使用时，可在圆周上布置多把刀具和多种检测传感器，作为高精度刀塔使用。可配置在超精密单点金刚石车床、多面棱镜机床和单晶金刚石刀具研磨机上使用。

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